- 产品描述
- 技术指标
- 应用案例
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产品型号：
LAGM-Alpha-RT
产品简介
交变梯度磁性测量系统主要用于磁性材料高精度性能表征，是磁性材料应用开发以及磁性芯片研发生产的关键设备。系统通过原理创新，采用激光多普勒测振技术替代传统双晶电片测振技术，可实现1E-8 emu量级的磁性测量精度，较国外同类产品提升1-2个数量级。系统配套全自动控制程序，可完成样品磁滞回线的测量，并自动提取材料饱和磁矩、矫顽场等关键参数。
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磁矩测量
灵敏度
1E-8 emu
重复性
±1%
稳定性
±0.05%@full scale/day 准确性
1% 样品尺寸
8 mm*8 mm并向下兼容 磁场测量
磁场精度
±0.05%@full scale/day 磁场分辨率
0.1 Oe
磁场配置
极头气隙
磁铁电流
样品区磁场
梯度场
5 mm
12.75 A
优于2 T
优于 300 Oe/cm
10 mm
12.75 A
优于1.6T
优于 250 Oe/cm
15 mm
12.75 A
优于1.4 T
优于 200 Oe/cm
20 mm
12.75 A
优于1.2T
优于 150 Oe/cm
磁场均匀区
±1%Φ10 mm
其余指标
● 激光多普勒测振，采用632.8 nm氦氖激光，位移分辨率优于1 pm，速度分辨率优于0.01μm/s
● X-Y-Z三轴位移台&转角器，方便取换样以及转角测试
● 配有两种碳纤维样品杆，分别用于强磁和弱磁测试
● Labview控制程序，实现扫频和扫场测试的全自动化
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测试案例：
以2s/p的速度对具有垂直各向异性的薄膜样品进行磁滞回线测试，蓝色的线表示原始数据，红色的线表示校正之后的数据。
以2s/p的速度对具有面内各向异性的薄膜样品进行磁滞回线测试，
以4s/p的速度对多层膜样品进行磁滞回线扫描测试，蓝色表示原始数据，红色表示修正之后的数据
交变梯度磁性测量系统
合作意向表
—— 为中国集成电路制造提供可靠设备，用精密测量赋能科技创新！
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