- 产品描述
- 技术指标
- 应用案例
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产品型号：
PSPP-MS
产品简述：
● 磁场探测分辨率≤0.05 mT；
● 二维磁场探针台，包含两组磁铁，可同时提供垂直与面内磁场，磁场均匀性±1% φ1 mm；
● 磁场强度实时监测反馈，监测精度优于1%，≤0.05 mT；
● 面内磁铁极头间距可根据样品尺寸调整以获得最大磁场，兼容性强；
● 最多兼容8组探针同时使用（4组微波+4组直流）；
● Y轴提供大行程位移装置，在不移动探针情况下快速抽拉更换样品；
● 配备样品台倾斜微调旋钮，确保样品平面平行于面内磁场方向。
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● 磁场方向：面内/垂直
● 样品尺寸：≤Φ30 mm
● 磁极气隙：0-40 mm可任意调节
● 探针类型及数量：最多支持8组探针同时放置（直流探针（4组）+微波探针（4组））
● 显微镜类型：体视显微镜/单筒显微镜
● 磁场方向及最大磁场强度：面内磁场（X）≥800 mT 12 mm
● 垂直磁场（Z）≥140 mT
● 面内磁场单独施加时，磁场垂直分量优于0.1mT（面内场≤200mT)
设备可提供升级点：
● 样品多轴测试位移台升级为半自动
● 增加探针平面快速升降功能，便于多点重复测量
二维磁场探针台
合作意向表
—— 为中国集成电路制造提供可靠设备，用精密测量赋能科技创新！
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