- 产品描述
- 技术指标
- 应用案例
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产品型号：
AtomEdge
产品简介：
AtomEdge多功能原子力显微镜可对材料、电子器件、生物样本等进行三维扫描成像，成像分辨率可达20皮米。本产品最大可兼容4英寸样品，具备接触、轻敲、非接触等多种工作模式，为用户提供了更为灵活和精准的操作选择。此外，它还集成了磁力显微镜、静电力显微镜、扫描开尔文显微镜、压电力显微镜、刻蚀和纳米操作等多种功能模式，稳定性强，可拓展性良好。根据实际需求，还可拓展近场光学、拉曼/荧光光谱联用、外加磁场、声学原子力等功能，是一款真正意义上的高分辨多功能型原子力显微镜。
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● 4英寸大尺寸测量，兼容性高
● 中英文操作界面，使用方便
● 开放式换针，操作简单
● 标配多功能模式，性价比高
● XY方向噪声水平：0.2 nm闭环，0.02 nm开环
● Z方向噪声水平：0.04 nm闭环，0.03 nm开环
● 非线性度：XY方向0.15%，Z方向1%
● 扫描方式：XYZ三轴全样品扫描
● 扫描范围：90 μm×90 μm×9 μm
● 扫描速率：0.1 Hz~2 0Hz
● 图像采样点32×32~4000×4000
● 样品尺寸：最大直径100 mm，厚度10 mm，兼容直径100 mm培养皿
● 工作模式：接触、轻敲、非接触
● 适配环境：空气、液相
● 多功能测量：静电力显微镜（EFM）、扫描开尔文显微镜（KPFM）、压电力显微镜（PFM）、导电原子力显微镜（C-AFM）、扫描电容力显微镜（SCFM）、磁力显微镜（MFM）、横向力显微镜（LFM）、纳米刻蚀/加工、单点力谱曲线、力调制模式
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轻敲模式
高度为0.39 nm钛酸锶单原子层台阶图像
磁力显微镜（MFM）
应用领域：磁纳米材料，生物样本的磁性质，以及金属、合金、复合材料等的磁结构。
静电力显微镜（EFM）
应用领域：半导体器件，微纳电子器件，纳米材料的表面电荷分布，以及生物类样本等。
扫描开尔文显微镜（KPFM）
应用领域：KPFM与EFM均可表征表面电学性质，应用领域相似，但KPFM能定量测量表面电位和功函数，所以应用场景更为广泛。
压电力显微镜（PFM）
应用领域：铁电材料，压电材料，电子器件评估，材料缺陷和界面研究以及新型材料探索等领域。
实际案例
环氧树脂聚合物形貌
扫描模式：轻敲模式
扫描范围：7μm×7μm
Au-Ti条带状电极片形貌
扫描模式：轻敲模式
扫描范围：18μm×18μm
Al2O3晶须形貌图
Cu掺杂TiO2薄膜
Pt-Co薄膜磁畴
扫描模式：MFM（抬起模式）
扫描范围：5μm×5μm
聚乙烯与聚辛烯共聚物形貌（液下）
扫描模式：轻敲模式
扫描范围：18μm×18μm
多功能原子力显微镜
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