1.高级功能：杨氏模量、粘附力、磁畴、表面电势、功函数等物理量测试

2.适配环境：兼容培养皿、加热台等配件,支持液下、高温等环境测量

3.智能化进针：搭配压电扫描管可实现智能化一键进针

4.适配尺寸：12英寸晶圆并向下兼容各种晶圆尺寸

● XY方向噪声水平：0.2 nm闭环，0.02 nm开环

● Z方向噪声水平：0.06 nm闭环，0.03 nm开环

● 非线性度：XY方向0.15%，Z方向1%

● 扫描方式：XYZ全探针扫描方式，扫描过程中样品保持静止

● 扫描范围：90 μm×90 μm×9 μm

● 扫描速率：0.1 Hz~30 Hz

● 图像采样点：32×32~4000×4000

● 样品尺寸：12英寸晶圆向下兼容8、6、4英寸及碎片样品

● 工作模式：接触、轻敲、非接触

● 适配环境：空气、液相

● 多功能测量：静电力显微镜(EFM)、扫描开尔文显微镜(KPFM)、压电力显微镜(PFM)、导电原子力显微镜(C-AFM)、扫描电容力显微镜(SCFM)、磁力显微镜(MFM)、横向力显微镜(LFM)、纳米刻蚀/加工、单点力谱曲线、力调制模式

● 选配：全自动上下料

● 全自动探针逼近系统：行程35 mm，步进精度50 nm

轻敲模式

球蛋白样品形貌图像

实际案例：

Au-Ti条带状电极片电势

扫描模式：KPFM（抬起模式）

扫描范围：18μm×18μm

Au-Ti条带状电极片静电力

扫描模式：EFM(抬起模式）

扫描范围：18μm×18μm

Fe-Ni薄膜磁畴

扫描模式：MFM(抬起模式）

扫描范围：14μm×14μm

PbTiO3-压电相应垂直幅度图

扫描模式：PFM（接触模式）

扫描范围：20μm×20μm

聚苯乙烯球体形貌

扫描模式：轻敲模式

扫描范围：10μm×10μm

SiC晶须形貌图