● 具备磁阻RH、RV特性测量功能，具备脉冲幅值自动标定功能
● 器件翻转概率、误码率、循环特性测量，可进行VCMA测试
● 具备翻转动态测量功能
● 工艺配方可编辑、创建、删除、修改等，操作由用户自定义
● 系统自动记录工艺过程中的重要参数、报警问题等，支持操作日志查询
● 具备数据管理功能，可自动提取回线信息，如翻转磁场、翻转电压等
● 提供管理员、设备工程师、操作员三种用户权限

软件界面与测试结果

探针台

● 样品兼容性高：适用于用5”、6”、8”晶圆

● 精度：1.5 μm

● 样品台：X轴300 mm/s Y轴200 mm/s；Z轴全行程37 mm，角度调整范围±5°，满足高达150℃测试需求

● 具备机械臂晶圆转移组件

● 具备空中对针与探卡支持功能，可自动清针

磁场发生组件

● 机械结构：电磁铁可以气动升降，升降重复定位精度优于5 μm，磁场可旋转

● 磁铁电源：3台四象限高稳定直流电源，最高输出功率不低于200 W，支持模拟信号控制

● 磁铁电源输出功率：不低于200 W

● 磁场旋转角度分辨率：1°@3 Hz

● 双通道任意波发生器：2台，具有任意波形生成能力，支持Trueform技术，16位分辨率，20 MHz，满足LAN、GPIB标准

● 磁场探测：满足三轴磁场探测的霍尔探头，输出增益10V/1T，线性精度0.1%，磁场监测精度0.1 mT

● 磁场范围和均匀性：X/Y≥±100 mT，磁场均匀性优于±99%@50 mT@φ1 mm；Z≥±100 mT，磁场均匀性优于±99%@50 mT@ φ1 mm

● 磁场均匀性：提供磁场校准功能，磁场校准后3轴磁场发生偏差值的标准差均≤1% ±0.1 mT@3 Hz

● 磁场发生频率：最高发生频率达到20 Hz

● 兼容性高：磁铁垂直部分可取下，且极头中心具备锥形孔，兼容同轴相机光路

● 可靠安全：磁铁系统具备退磁功能、高温报警和记录

电学测试模块

● 高精度测量仪表和高输出精度源表，保障测试的精准

● 测量仪表：高精度七位半触屏数字台式万用表：直流电压灵敏度：10 nV，电压Max读数1000 V；电阻灵敏度：0.1μΩ，电阻Max读数1 GΩ；直流电流灵敏度：1 pV，电流量程10 μA~10 A

● 数字源表：包含6^½位数字分辨率触摸屏数字源表；测量分辨率：10 fA/10 nV；电流源量程：10 nA~±1.05 A；电压源量程：20 mV~±210 V。

● 脉冲模块：双通道高速任意波形发生器，输出幅度达1 Vpp，DAC 14位，2 GHz模拟带宽，每通道2 Gsa存储器。并配置双通道脉冲放大器，放大脉宽200 ps-200 ns，幅值±5 V

● 内置偏置器、射频继电器组件实现多测量模式自动切换

● 电流放大器：增益可变低噪声电流放大器，附带电源适配器，带宽DC~200 MHz，可调AC/DC耦合，可调增益1*10²~1*10⁸ V/A

视觉组件

● 配置同轴光照明可变倍率（0.75X至5X倍率可调）同轴显微镜；配置10”液晶显示屏

● 具备调焦位移台：三轴位移台（三轴位移行程为10 mm），实现相机位置调节与对焦

● 具备探针固定平台，紧固于探针台之上。具备3个探针座固定位置，彼此垂直布置，兼容电磁铁升降

● 具备3探针座，探针座调节分辨率：1 μm，导程80 TPI，行程X-Y-Z:各方向位移行程不低于12 mm。配置探针臂，兼容无磁直流探针与射频探针

● 具备仪器控制软件及数据拟合、分析软件。配备了功能强大的控制主机

● 配置2 K分辨率，27英寸显示器

设备特色

100ms内完成1个循环的磁阻测试

2s内完成，脉冲振幅扫描可至±5V的RV测试

8秒内可完成106个周期的误码率测试中，脉冲宽度200ps至200ns

90s内完成109循环测试

磁电阻RH测试数据（3Hz，10cycles）

RV-VCMA测试结果

RV测试结果

翻转概率与误码率测试结果
 

不同VCMA电压下的SOT-MRAM器件翻转概率P_SW曲线